8月14日，國(guó)務(wù)院國(guó)資委官網(wǎng)發(fā)布消息，由中國(guó)化工黎明化工研究設(shè)計(jì)院承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)項(xiàng)目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”通過國(guó)家重大專項(xiàng)項(xiàng)目組測(cè)試與評(píng)審，標(biāo)志著我國(guó)極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需高純度含氟電子氣體實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。目前，黎明院高純四氟化碳和六氟化硫的年產(chǎn)能可達(dá)2000噸，可完全實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的替代。
華創(chuàng)證券指出，集成電路是信息社會(huì)的根基。高純度含氟電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必需的清洗和蝕刻氣體，在芯片制作過程中保障極大規(guī)模集成電路的生成，確保電路有效發(fā)揮作用。隨著極大規(guī)模集成電路技術(shù)的提升，芯片制程向14納米甚至7納米邁進(jìn)，對(duì)電子氣體的純度要求越來(lái)越高。 ……
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